我們國家市面上的很多傳感器從無到有,相當程度滿足了國家工業(yè)發(fā)展的需求。特別是上世紀“七五”期間,明確將敏感元件及傳感器列入國家攻關(guān)計劃,“八五”開始特別針對現(xiàn)代工業(yè)發(fā)展急需的力敏、熱敏、光敏、化學、電磁電量等各類工業(yè)傳感器進行傳感器技術(shù)研究及共性技術(shù)研究專項攻關(guān),“九五”期間實施的微電子機械系統(tǒng)攀登計劃、集成微光機電系統(tǒng)研究及“863”MEMS微機電系統(tǒng)重大專項研究,形成了涵蓋傳感器芯片、材料(半導體晶圓)、封裝測試、軟件處理及算法、應(yīng)用示范生產(chǎn)線在內(nèi)的傳感器科研與產(chǎn)業(yè)鏈,建成了包括國家級科研院所、傳感器國家工程研究中心、傳感器國家重點實驗室等專業(yè)研發(fā)機構(gòu)和典型企業(yè)在內(nèi)的科研、中試、規(guī)?;a(chǎn)隊伍。傳感器的種類有哪些呢?
一、按工作(檢測)原理分類
檢測原理指傳感器工作時所依據(jù)的物理效應(yīng)、化學效應(yīng)和生物效應(yīng)等機理。有電阻式、電容式、電感式、壓電式、電磁式、磁阻式、光電式、壓阻式、熱電式、核輻射式、半導體式傳感器等。
如根據(jù)變電阻原理,相應(yīng)的有電位器式、應(yīng)變片式、壓阻式等傳感器;如根據(jù)電磁感應(yīng)原理,相應(yīng)的有電感式、差壓變送器、電渦流式、電磁式、磁阻式等傳感器;如根據(jù)半導體有關(guān)理論,則相應(yīng)的有半導體力敏、熱敏、光敏、氣敏、磁敏等固態(tài)傳感器。
這種分類方法的優(yōu)點是便于傳感器專業(yè)工作者從原理與設(shè)計上作歸納性的分析研究,避免了傳感器的名目過于繁多,故最常采用。缺點是用戶選用傳感器時會感到不夠方便。
有時也常把用途和原理結(jié)合起來命名,如電感式位移傳感器,壓電式力傳感器等,以避免傳感器名目過于繁多.
二、按照傳感器與被測對象的關(guān)聯(lián)方式(是否接觸)分類
a、接觸式:如:電位差計式、應(yīng)變式、電容式、電感式等;
b、非接觸式:接觸式的優(yōu)點是傳感器與被測對象視為一體,傳感器的標定無須在使用現(xiàn)場進行,缺點是傳感器與被測對象接觸會對被測對象的狀態(tài)或特性不可避免地產(chǎn)生或多或少的影響。非接觸式則沒有這種影響;
非接觸化測量可以消除傳感器介入而使被測量受到的影響,提高測量的準確性,同時,可使傳感器的使用壽命增加。但是非接觸式傳感器的輸出會受到被測對象與傳感器之間介質(zhì)或環(huán)境的影響。因此傳感器標定必須在使用現(xiàn)場進行。
三、按輸入量即測量對象的不同分類
如輸入量分別為:溫度、壓力、位移、速度、濕度、光線、氣體等非電量時,則相應(yīng)的傳感器稱為溫度傳感器、壓力傳感器、稱重傳感器等。
這種分類方法明確地說明了傳感器的用途,給使用者提供了方便,容易根據(jù)測量對象來選擇所需要的傳感器,缺點是這種分類方法是將原理互不相同的傳感器歸為一類,很難找出每種傳感器在轉(zhuǎn)換機理上有何共性和差異,因此,對掌握傳感器的一些基本原理及分析方法是不利的。因為同一種型式的傳感器,如壓電式傳感器,它可以用來測量機械振動中的加速度、速度和振幅等,也可以用來測量沖擊和力,但其工作原理是一樣的。
這種分類方法把種類最多的物理量分為:基本量和派生量兩大類.例如力可視為基本物理量,從力可派生出壓力、重量,應(yīng)力、力矩等派生物理量.當我們需要測量上述物理量時,只要采用力傳感器就可以了。所以了解基本物理量和派生物理量的關(guān)系,對于系統(tǒng)使用何種傳感器是很有幫助的。
四、根據(jù)敏感元件與被測對象之間的能量關(guān)系(或按是否需外加能源)分類
a、能量轉(zhuǎn)換型(有源式、自源式、發(fā)電式):在進行信號轉(zhuǎn)換時不需要另外提供能量,直接由被測對象輸入能量,把輸入信號能量變換為另一種形式的能量輸出使其工作。有源傳感器類似一臺微型發(fā)電機,它能將輸入的非電能量轉(zhuǎn)換成電能輸出,傳感器本身勿需外加電源,信號能量直接從被測對象取得。因此只要配上必要的放大器就能推動顯示記錄儀表。
如:壓電式、壓磁式、電磁式、電動式、熱電偶、光電池、霍爾元件、磁致伸縮式、電致伸縮式、靜電式等傳感器。
這類傳感器中,有一部分能量的變換是可逆的,也可以將電能轉(zhuǎn)換為機械能或其它非電量。如壓電式、壓磁式、電動式傳感器等?!?/span>
b、能量控制型(無源式、他源式、參量式):在進行信號轉(zhuǎn)換時,需要先供給能量即從外部供給輔助能源使傳感器工作,并且由被測量來控制外部供給能量的變化等。對于無源傳感器,被測非電量只是對傳感器中的能量起控制或調(diào)制作用,得通過測量電路將它變?yōu)殡妷夯螂娏髁浚缓筮M行轉(zhuǎn)換、放大,以推動指示或記錄儀表。配用測量電路通常是電橋電路或諧振電路。
如:電阻式、電容式、電感式、差動變壓器式、渦流式、熱敏電阻、光電管、光敏電阻、濕敏電阻、磁敏電阻等。
五、按傳感器的特殊性來分類
上面介紹的分類是傳感器的基本類型,按特殊性可分以下類型:
按檢測功能可分為檢測溫度、壓力、溫度、流量計、流速、加速度、磁場、光通量等的傳感器;
按傳感器工作的物理基礎(chǔ)可分為機械式、電氣式、光學式、液體式等;
按轉(zhuǎn)換現(xiàn)象的范圍可分為化學傳感器、電磁學傳感器、力學傳感器和光學傳感器;
按材料可分為金屬、陶瓷、有機高分子材料、半導體傳感器等;
按應(yīng)用領(lǐng)域分為工業(yè),民用、科研、醫(yī)療,農(nóng)用,軍用等傳感器;
按功能用途分為計測用、監(jiān)視用、檢查用,診斷用、控制用,分析用等傳感器。
六、按輸出信號的性質(zhì)分類
模擬式傳感器:將被測非電量轉(zhuǎn)換成連續(xù)變化的電壓或電流,如要求配合數(shù)字顯示器或數(shù)字計算機,需要配備模/數(shù)(A/D)轉(zhuǎn)換裝置。
上面提到的傳感器基本上屬于模擬傳感器?!?/span>
b、數(shù)字式傳感器:能直接將非電量轉(zhuǎn)換為數(shù)字量,可以直接用于數(shù)字顯示和計算,可直接配合計算機,具有抗干擾能力強,適宜距離傳輸?shù)葍?yōu)點。
目前這類傳感器可分為脈沖、頻率和數(shù)碼輸出三類。如光柵傳感器等。
3、按照傳感器的結(jié)構(gòu)參數(shù)在信號變換過程中是否發(fā)生變化可分為:
a、物性型傳感器:在實現(xiàn)信號的變換過程中,結(jié)構(gòu)參數(shù)基本不變,而是利用某些物質(zhì)材料(敏感元件)本身的物理或化學性質(zhì)的變化而實現(xiàn)信號變換的。
這種傳感器一般沒有可動結(jié)構(gòu)部分,易小型化,故也被稱作固態(tài)傳感器,它是以半導體、電介質(zhì)、鐵電體等作為敏感材料的固態(tài)器件。如:熱電偶、壓電石英晶體、熱電阻以及各種半導體傳感器如力敏、熱敏、濕敏、氣敏、光敏元件等?!?/span>
b、結(jié)構(gòu)型傳感器:依靠傳感器機械結(jié)構(gòu)的幾何形狀或尺寸(即結(jié)構(gòu)參數(shù))的變化而將外界被測參數(shù)轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電阻、電感、電容等物理量的變化,實現(xiàn)信號變換,從而檢測出被測信號。
如:電容式、電感式、應(yīng)變片式、電位差計式等。
七、按作用形式來分類
按作用形式可分為主動型和被動型傳感器。
主動型傳感器又有作用型和反作用型,此種傳感器對被測對象能發(fā)出一定探測信號,能檢測探測信號在被測對象中所產(chǎn)生的變化,或者由探測信號在被測對象中產(chǎn)生某種效應(yīng)而形成信號。檢測探測信號變化方式的稱為作用型,檢測產(chǎn)生響應(yīng)而形成信號方式的稱為反作用型。雷達與無線電頻率范圍探測器是作用型實例,而光聲效應(yīng)分析裝置與激光分析器是反作用型實例。
被動型傳感器只是接收被測對象本身產(chǎn)生的信號,如紅外輻射溫度計、紅外攝像裝置等
八、按傳感器構(gòu)成來分類
a、基本型傳感器:是一種最基本的單個變換裝置。
b、組合型傳感器:是由不同單個變換裝置組合而構(gòu)成的傳感器。
c、應(yīng)用型傳感器:是基本型傳感器或組合型傳感器與其他機構(gòu)組合而構(gòu)成的傳感器。
例如:熱電偶是基本型傳感器,把它與紅外線輻射轉(zhuǎn)為熱量的熱吸收體組合成紅外線輻射傳感器,即一種組合傳感器;把這種組合傳感器應(yīng)用于紅外線掃描設(shè)備中,就是一種應(yīng)用型傳感器。
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